X射線(xiàn)熒光光譜儀的探測器應該如何選擇

　　X射線(xiàn)熒光光譜儀的探測器應該如何選擇

　　X射線(xiàn)熒光光譜是一種常用的光譜技術(shù)，既可用于材料的組成成分分析，又可用于涂層和多層薄膜厚度的測量等。對于不同的應用用途，X射線(xiàn)熒光光譜儀體系中探測器的選擇也不盡相同。

　　對于定性分析往往需要用到硅漂移探測器。硅漂移探測器（SDDs）能夠提高低能量敏感度，使得X射線(xiàn)熒光光譜技術(shù)可以對一些低原子序數元素進(jìn)行檢測分析，甚至是在空氣氣氛中也能進(jìn)行檢測，例如用于測量化學(xué)鍍鎳涂層中磷元素（原子序數Z=15）的含量。但是，大多數的低原子序數元素的檢測分析依然還需要隔離空氣氣氛。

　　近年來(lái)比較流行的是一種密封的、充氣的正比計數器，正比計數器探測器較大的半寬高（FWHM）會(huì )導致相鄰元素的檢測譜圖嚴重重疊，以至于利用峰值搜索算法和/或可見(jiàn)光譜觀(guān)察法都無(wú)法探測出其中某種或者多種成分的存在。對于一些需要鑒別元素成分的工業(yè)制造品，其質(zhì)量檢驗結果由于發(fā)生嚴重重疊，難以分辨，造成難以檢測。

　　雖然利用硅探測器也會(huì )發(fā)生譜圖上的峰重疊現象，但在大多數的情況下，這些重疊峰能夠被輕易的分離和識別，這些特征使得硅探測器體系極其適用于定性分析和來(lái)料檢驗等方面。

　　硅漂移探測器具有很高的數據吞吐量，因此當測量需要多采樣、高精度時(shí)可以考慮使用這種探測器；但這通常需要樣品具有較高的熒光強度值。熒光強度值取決于樣品——如樣品類(lèi)型，樣品測量區域等。

　　在分析測量一些薄膜或者小樣品時(shí)，樣品的特性可能會(huì )很微小。當樣品或者樣品區很?。ㄖ睆街挥袔资⒚祝r(shí)，探測器的立體角則會(huì )起到很大的作用。而樣品或樣品區很小的情況往往都發(fā)生在測量電子元件和功能性涂層厚度等時(shí)候，這時(shí)正比計數器（Prop Counter）就成為了一種非常受歡迎的選擇，因為這種探測器具有的大俘獲角允許可以使用更小的準直儀。因此，當樣品譜圖相對簡(jiǎn)單，含有元素只有兩到三種，樣品分析區域直徑小到100-200微米時(shí)，正比計數器Prop Counter則是一個(gè)非常理想的選擇。